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曝光機鏡組霧化防護設備
產業類別:生產力&能源精品
產品型號:TAU
奇鼎科技股份有限公司
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本公司開發之「半導體鏡組霧化防護設備」為全球首創可去除氣狀分子微汙染物(AMC)的精密溫控設備,唯一根本解決曝光機問題,在半導體與光電產業,大幅提升製程良率和效率。
獨創革命性水去除原理,替代坊間以化學濾網、沸石轉輪或蓄熱焚化方式等高危險性、高汙染、高價格的去除方式。
【產品效益】
1.防止曝光設備Lamp霧化,延長其使用年限。
2.防止曝光設備鏡組霧化:若使用化學濾網,約6至8個月需要清洗鏡組,一旦停機,對產能影響甚鉅,使用本設備後,至少6年毋須清洗鏡組。
3.曝光機動輒一台1億台幣,本參選產品可防止AMC腐蝕曝光機零組件,延長其使用年限。正常蒸發器1到2年後開始鏽蝕,2到5年後破損,需定期更換,使用本設備6年後,曝光機蒸發器狀態如新,無任何銹蝕狀況。
4.除提昇產品良率,減少業主70%保養成本。
【產品規格】
潔淨度控制:Class 4
溫度控制精度:±0.5°C~±0.05°C
濕度控制精度:±5%RH~±0.5%RH
AMC去除效率:>90% in main AMC
傳統化學濾網一年需更換4次,本設備內部AMC去除材料6年內不須更換,耗材更迭率低,更為環保。

http://www.chd-tech.com.tw/

產品洽詢

關於 奇鼎科技股份有限公司

奇鼎科技是一間為了全世界最精密的製程提供最佳製程環境、並協助企業及國家達成碳平衡而前進的公司。

一、 基本介紹:奇鼎科技創立於2003年,主要提供半導體精密環境控制設備,與節能工程服務給半導體廠。因研發特色獲得國家產業創新獎、國家磐石獎、潛力中堅企業、台灣精品獎、經濟部中小企業創新研究獎等31座獎項,多次接受總統親自頒獎。主要客戶包括國際半導體晶圓廠、高階封裝測試廠與外商半導體設備商,裝機範圍遍布兩岸、美國、德國、瑞士、日本、韓國與新加坡等地。

二、 設備事業群:兩岸最大半導體精密溫控設備商,以精密度高達±0.01℃,又能監測與控制AMC,讓各種精密製程環境穩定而受客戶青睞。客戶包含全球最大晶圓代工廠、最大封裝測試廠、同時是世界最大半導體設備商指定供應商,可謂把冷凍空調應用做到極致的隱形冠軍。

三、 節能事業群:早年從無塵室工程開始,以近二十年的經驗發展節能技術,整合並改善各大半導體廠廠務運作。至今已替客戶節省電費超過十億台幣,也為環境提供超過688座大安森林公園的碳吸收量。近年多案協助客戶以超過50%的節能率,並獲得破千萬元政府節能補助擴展市場。

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品牌名稱為『奇鼎』,『奇』有特別、出人意表、美好之意;『鼎』有盛大、寶器之意,象徵本公司致力研發潔淨氣流的完美工藝。 奇鼎科技的LOGO代表本公司地市場定位,四個直角的結合象徵四種技術的尖端發展,包括空氣潔淨系統、製程微控、製程微測及節能服務的整合系統。推動產品服務的共同特性為「追求精準執行與穩定」。以卓越的控制能力,高度客製化服務提供客戶完整設計方案。

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