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ウェットエッチング装置
業界別：生産力・エネルギー
製品番号：GPM-GATE/GPM-SOURCE/GPM-ITO/GPM-PER ITO
均豪精密工業股份有限公司（Gallant Precision Machining）
ウェットエッチングプロセスでは、薬液を使用して基板にスプレーし、薬液が基板上の金属と反応して、基板上に定義されたパターンを形成します。ウェットエッチング装置は、プロセス条件に合わせて設計された環境装置です。
今回選ばれた製品「ウェットエッチング装置」は、G6世代以上に対応した大型メタルウェットエッチング装置で、Cuエッチング、ALエッチング、ITOエッチング、IGZOエッチング工程に使用され、コンベアローラーで搬送されます。液体噴霧システムを備えており、お客様の生産工程に合わせることが可能です。この製品は、高稼働率 (Up time)、高出力率 (Tact Time)、優れたエッチング均一性 (Etch Uniformity)、低薬液消費量、および低水消費量の特徴を持ち、お客様に省エネルギー、低炭素化を提供します。
製品の特徴と革新的技術
(1) 低い基板破断率：
1. 上部加圧ローラーを使用しない基板搬送システム
2. 補助サポートエッジガイドホイール設計
3. 高精度なドライエアナイフ設計
(2) 高い設備稼働率
1. 自動結晶化防止洗浄機能
2. タンク液自動交換機能
3. ダブルフィルター自動交換機能
4. ワンタッチ除菌洗浄機能
5. 機器故障警報監視システム (IDMSシステム)
(3) 省エネ設計：
1. 液体基材の搬出量の削減
2. 純水洗浄の節水設計
3. 排気ロスを低減するオートダンパー設計
均豪精密工業股份有限公司（Gallant Precision Machining） について
1978年創業の均豪精密工業（Gallant Precision Machining）は、自社ブランド「GPM」を有し、1998年に台湾証券取引所の新興株式市場に上場しました。1985年以来、プロセス設備、オートメーション設備、精密金型部品分野へと一歩一歩着実に参入を進めました。2002年に華東半導体、2006年に群録自動化と合併し、二度の合併によりプロセス技術における研究開発、生産、製造能力を倍増させることができました。同時にLCD、太陽電池、プリント基板、バイオメディカル、ロボット、スマートオートメーションなどの重要産業のサプライチェーンの中核への参入に成功し、製品販売とサービスをアジア各国へと展開しています。これにより、中華圏および東南アジアへと顧客基盤を拡大させています。
1978年、台湾の新店宝橋路にある小さなアパートのなかで、「人間本位、たゆまぬ研鑽」の理念を掲げる蘭光輝董事長と丁才煥名誉董事長の手により、均豪精密工業（Gallant Precision Machining）が誕生しました。 均豪は、最初のIC金型の作成から、ゆるぎない信念と勇気を持って、自社ブランドの「GPM」を打ち出し、台湾初の自社ブランドを持つ半導体精密金型と設備メーカーとなりました。 常に新しい発想と変化を求める当社は、その後「華東半導体」と「群録自動化」の2社と合併し、3社の優れた人材を集め、「誠実、チーム、革新、勉強、責任」という独自の企業文化を発展させ、持続可能な経営を追求し、国産精密機器の新しい地平を切り開いています。 当社は時代の歯車に乗り、精密機械技術分野に注力してきました。インダストリー4.0、IoT、半導体、ディスプレイ、バイオメディカル、グリーンエネルギー、人工知能、スマート製造など、さまざまな産業や分野の顧客開拓に成功しています。全社員が均豪の価値観を実践し、さらに戦略パートナー、サプライヤー、顧客、政府機関、主要ステークホルダーからの強い支持により、当社は革新と成長を続けています。 今年、当社は設立42周年を迎えました。振り返りますと、創業者をはじめ、歴代の役員や同僚たちの貢献と努力により、今日のような事業版図が出来上がりました。 今後、全社員とも感謝の気持ちを忘れず、一緒に幸せな企業をつくり、新しい「均豪」へと歩んでいきたいと思います。
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