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濕式蝕刻設備

產業類別：生產力&能源精品

產品型號：GPM-GATE/GPM-SOURCE/GPM-ITO/GPM-PER ITO

均豪精密工業股份有限公司

面板濕蝕刻製程利用化學藥液噴淋在基板上，化學藥液與基板上的金屬進行反應，形成基板上定義的圖形。濕式蝕刻機為設計符合製程條件的環境設備。
本參選產品『濕式蝕刻機』為對應G6世代以上的大尺寸金屬濕式蝕刻設備，運用於Cu蝕刻、AL蝕刻、ITO蝕刻、IGZO蝕刻製程，採用Conveyor滾輪傳送，搭配藥液噴淋系統，滿足客戶產品製程能力。本產品具有：高稼動率(Up time)、高產出率(Tact Time)、蝕刻均一性佳(Etch Uniformity)、藥液用量低、用水量低的特點，可提供客戶節能減碳的目標。
產品特色與創新技術
(1) 低基板破片率：
1.無上壓輪基板傳送系統。
2.輔助支撐邊導輪設計
3.高直準度乾燥風刀組設計。
(2) 高設備稼動率：
1.自動防結晶清洗功能
2.自動Tank藥液交換功能
3.雙濾心自動交換功能
4.一鍵殺菌清洗功能
5.設備故障預警監控系統。(IDMS系統)
(3) 節能設計：
1.降低藥液基板攜出量設計
2.降低純水洗淨用水量設計
3.Auto damper降低排氣損耗設計

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產品洽詢

關於均豪精密工業股份有限公司

成立於1978年，自創「GPM」自有品牌，於1998年在台灣證券交易所掛牌上櫃。成立初期以半導體設備之模具零組件製造為主，自1985年逐步穩健的跨入製程設備、自動化設備及精密模具零組件領域，並於2002年和2006年分別合併「華東半導體」及「群錄自動化」，透過二次的合併，得以加倍厚實製程技術的研發、生產及製造能力，並成功進入LCD、PV、PCB、生醫、機械人、智動化等關鍵產業的核心供應鏈，產品銷售與服務範圍擴及亞洲各國，客戶涵擴大中華及東南亞地區。

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1978年，新店寶橋路的一棟小小公寓裡，在藍光輝董事長和丁才發榮譽董事長秉持『以人為本、精益求精』的理念帶領下，均豪誕生了。從打造出第一個IC模具開始，均豪就以堅定的信念與無比的勇氣，成為台灣首家自創品牌『GPM』的半導體精密模具和設備製造商。不斷求新求變的我們，一路走來披荊斬棘，先後完成與『華東半導體』及『群錄自動化』的合併，匯集三家公司的菁英人才，發展出『誠信、團隊、創新、學習、責任』之自有企業文化，追求永續經營，開拓了國產精密設備的新天地。乘著時間的巨輪，專注於精密機械技術領域一路向前，成功的跨足工業4.0、物聯網、半導體、顯示器、生醫、綠能、人工智慧、智慧製造等各產業和領域，並在全體同仁對均豪價值觀的身體力行，以及策略合作夥伴、供應商、客戶、政府機關及重要關係人的大力牽成下，不斷創新、持續成長。今年，是均豪成立的四十二個年頭，緬懷過去，深深感念創辦人與所有歷任主管及同仁們腁手胝足，一步一腳印的貢獻和辛勞，才有今日的事業版圖。未來，全體員工將以更感恩的心，共創幸福企業，大步邁向另一個嶄新的『均豪』。

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