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研磨液混料供應系統
產業類別：生產力&能源精品
產品型號：iTrident 系列
亞泰半導體設備股份有限公司
亞泰研磨液混料供應系統，以三桶式呈現，全機自動化操作包含入料模組、混料、供應及控制單元。針對半導體化學機械平坦化中所使用研磨液進行混料均勻攪拌並傳輸至製程端使用。
其他品牌的三桶式，個別桶僅可支援單一功能，因此無法承擔任何停機作業的風險；然而，亞泰藉由獨家的管路控制與穩壓技術，達到3個桶子中每一個桶子皆可完成研磨液的攪拌、暫存及供應等多功能，使混料供應可彈性配置單桶或同時運作；即便任一桶需停機檢修，皆可符合半導體廠不停線要求。
研磨液經由流體管線及控制閥注入底部為錐形的桶槽，以桶底噴流攪拌方式達到攪拌均態、避免沉積並且減少殘液。系統搭載品質優化方案，包括濕氮氣裝置，可避免與空氣接觸的研磨液乾燥硬化；品質分析模組進行研磨液補正；熱交換模組，以個別控制桶內液體的溫度；穩壓脈波吸收模組，搭配輸送泵組，以穩定研磨液供應的流量及壓力。
本產品主要為有限的廠房配置下爭取到更佳的物料處理坪效，節省空間之餘更藉由機組零件運作頻率降低達到設備使用壽命的延長，使總體成本的節省。在符合人因維修、空間節省及極簡美學的設計下，提供更優化的安全冗餘、混料更精確、且即時確保研磨液品質的供應系統。
關於 亞泰半導體設備股份有限公司
亞泰為提供完整的供磨液供應系統方案，以作為半導體先進製程前進腳步的助力；整合範疇包括研磨液供應中央/單一設備(SDS)、化學液輸送系統(CDS)、系統工程、製程品質監控管理系統、供應系統獨家優化方案及客製化關鍵零元件等。
台灣為企業總部及研發製造基地，由翔泰機電(上海)和鉌泰電機設備(廈門)提供大陸地區客戶有效率的專業服務。我們以客戶滿意為宗旨，品質提升為目標，伴客戶成長為榮耀；提供半導體產業、光電產業(面板/太陽能/LED)、醫療製造、食品業、鋼鐵業、石化業、化學等產業，全方位的液體輸送方案。
亞泰半導體設備成立於1997年，成立之初為臺灣工研院育成中心的化學機械研磨平整CMP設備研究團隊，該團隊為亞泰前身，累積對半導體CMP製造程瞭解的養分，做為提供磨液供應系統SDS (Slurry Dispense System Total solution)工藝技術及系統整合的優勢，為客戶提供最貼心的客製化服務。「傾聽、懂你、成就需求」是對客戶的服務態度，也是亞泰將員工視為家人的承諾。
